Персоналии

Приведены результаты исследования процесса формирования поликремниевых элементов при наличии сложного рельефа в виде островков кремния в структуре кремний на изоляторе (КНИ). Найдены оптимальные технологические параметры процесса и описаны определяющие их физико-химические механизмы. Предложена новая концепция организации процесса вакуумно-плазменного травления поликремниевых элементов при наличии сложного рельефа. Разработан и оптимизирован процесс реактивно-ионного травления поликремниевых элементов при формировании структур схем повышенной радиационной стойкости, таких как КНИ.

• Просмотров: 1610 | Комментариев : 0