Исследована применимость метода системного анализа к чистым помещениям технологии микроэлектроники для улучшения их энергоэкологических показателей. Рассмотрена возможность использования на практике метода оценки экологичности системы кондиционирования воздуха для чистых помещений микроэлектроники с помощью функционально-экологического анализа, приведен его алгоритм и пример реализации для действующей технологии. Функционально-экологический анализ -трудоемкий метод, однако его эффективность и полнота дают значительное преимущество при оценке чистых помещений.
- Просмотров: 1431 | Комментариев : 0