Исследована применимость метода системного анализа к чистым помещениям технологии микроэлектроники для улучшения их энергоэкологических показателей. Рассмотрена возможность использования на практике метода оценки экологичности системы кондиционирования воздуха для чистых помещений микроэлектроники с помощью функционально-экологического анализа, приведен его алгоритм и пример реализации для действующей технологии. Функционально-экологический анализ -трудоемкий метод, однако его эффективность и полнота дают значительное преимущество при оценке чистых помещений.
1. ГОСТ Р 51750 – 2001. Энергосбережение. Методика определения энергоемкости при производстве продукции и оказании услуг в технологических энергетических системах. Общие положения. – М.: Госстандарт России, 2004. – 22 с.
2. Гаврилин П.А. Функционально-экологическое проектирование технических систем. – М.: Спутник, 2008. – 47 с.
3. Козлов В.Н. Системный анализ. Оптимизация и принятие решений. – СПб.: Проспект, 2014. – 173 с.
4. Дисветова Н.М., Каракеян В.И. Функционально-экологический анализ системы кондиционирования воздуха чистых помещений // Методы анализа и контроля объектов природно-технических геосистем / Под ред. В. И. Каракеяна. – М., 2014. – С. 53–59.