Персоналии
инженер-технолог кафедры квантовой физики и наноэлектроники МИЭТ. Область научных интересов: фотолитография, химическое травление оксидных пленок и металлов.
Статьи автора
Исследованы особенности создания 3D-структур кремния путем локального формирования жертвенного слоя пористого кремния жидкостным травлением с использованием пленок серебра толщиной 50 и 100 нм в качестве катализатора. Установлено влияние интенсивности массопереноса ионов Ag за счет градиента температур на морфологию поверхности формируемой структуры в зависимости от линейного размера маски-катализатора.
- Просмотров: 1510 | Комментариев : 0