Персоналии
Старший научный сотрудник лаборатории технологии микро- и наносистемной техники ЯФ ФТИАН РАН. Область научных интересов: плазменные процессы травления технологии микроэлектроники, микро- и наносистемной техники, разработка технологии изготовления устройств МЭМС.
Кандидат физико-математических наук, научный сотрудник лаборатории технологии микро- и наносистемной техники Ярославского Филиала Физико-технологического института РАН (ЯФ ФТИАН РАН). Область научных интересов: проектирование, разработка технологии изготовления устройств МЭМС и НЭМС.
Кандидат физико-математических наук, доцент, ведущий научный сотрудник ГНПО «Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению». Область научных интересов: технология и физика тонких полупроводниковых пленок.
доктор физико-математических наук, профессор, заведующий лабораторией физики твердого тела ГО «Научно-практический центр НАН Беларуси по материаловедению» (Республика Беларусь, 220072,г. Минск, П. Бровки 19)
Доктор физико-математических наук, заведующий лабораторией технологии микро- и наносистемной техники Ярославского филиала Физико-технологического института РАН. Область научных интересов: плазменные процессы технологии микроэлектроники, микро- и наносистемной техники.