Персоналии
Заместитель начальника отделения производственного отдела Научно-производственного комплекса микроэлектроники ВНИИА им. Н.Л. Духова (г. Москва). Область научных интересов: исследования и разработка технологии создания устройств микро- и наносистемной техники.
Научный сотрудник лаборатории технологии микро- и наносистемной техники ЯФ ФТИАН РАН. Область научных интересов: моделирование, разработка алгоритмов и программ управления средствами измерений и процессами.
Ведущий технолог лаборатории технологии микро- и наносистемной техники ЯФ ФТИАН РАН. Область научных интересов: технологические процессы изготовления и анализа работы устройств МЭМС.
Кандидат физико-математических наук, научный сотрудник лаборатории технологии микро- и наносистемной техники ЯФ ФТИАН РАН. Область научных интересов: плазменные процессы травления технологии микроэлектроники, микро- и наносистемной техники.
Электроник лаборатории технологии микро- и наносистемной техники ЯФ ФТИАН РАН. Область научных интересов: электронно-лучевая литография,электроника,проектирование и разработка электронных схем.