Персоналии

Пленки плазмохимического нитрида кремния SiN , получаемые из газов моносилана SiH и аммиака NH, широко используются в микроэлектронике, микро- и наноэлектромеханических системах. Для многих применений важными характеристиками являются остаточные механические напряжения и состав пленок. Свойства пленок SiN , в частности механические напряжения и состав, существенно зависят от условий получения: соотношения расходов реагирующих газов, состава газовой смеси, мощности и частоты генератора плазмы, температуры и давления при осаждении. Несмотря на большой объем исследований, данные о зависимости свойств и состава пленок SiN от условий получения не являются достаточно полными. Изучено влияние отношения расходов реагирующих газов на механические напряжения и состав пленок плазмохимического нитрида кремния SiN , получаемых из газовой смеси моносилана SiHи аммиака NH при использовании низкочастотной плазмы. Установлено, что с ростом отношения расходов газов SiH к NH от 0,016 до 0,25 сжимающие механические напряжения уменьшаются на 31%, стехиометрический коэффициент уменьшается от 1,40 до 1,20, показатель преломления возрастает от 1,91 до 2,08, концентрация связей N-H уменьшается в 7,4 раз, концентрация связей Si-H возрастает в 8,7 раз, а концентрация атомов водорода убывает в 1,5 раза. Результаты можно использовать для контролируемого получения пленок SiN с такими заданными характеристиками, как остаточные механические напряжения, показатель преломления, стехиометрический коэффициент и концентрация водородсодержащих связей.

• Просмотров: 2869 | Комментариев : 0

Проведено моделирование первичного преобразователя скорости потока газа мембранного типа на основе калориметрического принципа работы. Рассмотрено несколько вариантов конструкции сенсора. Проанализированы результаты численного моделирования различных вариантов конструкции датчика с точки зрения максимальной чувствительности, которые позволяют найти оптимальные конфигурацию и расположение теплового сенсора.

• Просмотров: 1318 | Комментариев : 0

Разработан и реализован алгоритм анализа рельефа для расчета механических напряжений в выбранном направлении на пластине в программной среде Matlab. Методика предусматривает возможность проведения измерений в каждой точке образца, что обеспечивает наглядное представление данных и позволяет получить распределение механических напряжений по поверхности пластины. C помощью данной методики измерены механические напряжения в пленке плазмохимического нитрида кремния на кремниевой подложке. Проведен анализ в среде приборно-технологического моделирования TCAD.

• Просмотров: 1537 | Комментариев : 0