Проведено моделирование первичного преобразователя скорости потока газа мембранного типа на основе калориметрического принципа работы. Рассмотрено несколько вариантов конструкции сенсора. Проанализированы результаты численного моделирования различных вариантов конструкции датчика с точки зрения максимальной чувствительности, которые позволяют найти оптимальные конфигурацию и расположение теплового сенсора.
1. Моделирование первичного преобразователя скорости потока газа мембранного типа / В.А. Беспалов,
И.А. Васильев, Н.А. Дюжев и др. // Изв. вузов. Электроника. 2014. №3. С. 5056.
2. Bespalov V.A., Djuzhev N.A., Novikov D.V., Ryabov V.T. Application of the streamlined body for properties amplification of thermoresistive MEMS gas flow sensor // Third Asian School Conference on Physics and Technology of Nanostructured Materials (ASCO Nanomat 2015). August 1926, 2015. URL: ntc.dvo.ru/conf/nanomat 2015 / (дата обращения: 02.07.2015).
3. Дюжев Н.А. Измеритель потока // Пат. России № 2014140442/28. 2015.