1561-5405 10.24151/1561-5405 Proceedings of Universities. Electronics Scientifical and technical journal "Proceedings of Universities. Electronics" Научно-технический журнал «Известия высших учебных заведений. Электроника» 1561-5405 2587-9960 National Research University of Electronic Technology Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" 681.121.832Краткие сообщенияSimulation of Dependence of Output Characteristics of Membrane Type Primary Flow Sensor Converter on Its Design ParametersМоделирование зависимости выходных характеристик первичного преобразователя датчика потока мембранного типа от его конструктивных параметровКоролев Михаил АлександровичКоролевМихаил АлександровичKorolevMikhail A.Mikhail A. KorolevКатеев Максим Валерьевич КатеевМаксим Валерьевич ValerevichKateev MaksimKateev Maksim ValerevichГусев Евгений Эдуардович ГусевЕвгений Эдуардович EduardovichGusev EvgeniyGusev Evgeniy EduardovichНациональный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, РоссияНациональный исследовательский университет «МИЭТ»644747http://ivuz-e.ru/issues/6-_2015/modelirovanie_zavisimosti_vykhodnykh_kharakteristik_pervichnogo_preobrazovatelya_datchika_potoka_mem/

The simulation of the primary gas flow rate converter of membrane type based on the operation calorimetric principle has been carried out. Several options of the sensor construction have been considered. The results of numerical modeling for different variants of the sensor design in terms of the maximum sensitivity have been analyzed. The results permit to find the optimal for the moment the thermal sensor configuration and location.

Проведено моделирование первичного преобразователя скорости потока газа мембранного типа на основе калориметрического принципа работы. Рассмотрено несколько вариантов конструкции сенсора. Проанализированы результаты численного моделирования различных вариантов конструкции датчика с точки зрения максимальной чувствительности, которые позволяют найти оптимальные конфигурацию и расположение теплового сенсора.

первичный преобразователь скороститепловой датчик расходатерморезисторМЭМСмоделирование Моделирование первичного преобразователя скорости потока газа мембранного типа / В.А. Беспалов,И.А. Васильев, Н.А. Дюжев и др. // Изв. вузов. Электроника.  2014.  №3.  С. 5056.Bespalov V.A., Djuzhev N.A., Novikov D.V., Ryabov V.T. Application of the streamlined body for properties amplification of thermoresistive MEMS gas flow sensor // Third Asian School  Conference on Physics and Technology of Nanostructured Materials (ASCO  Nanomat 2015). August 1926, 2015.  URL: ntc.dvo.ru/conf/nanomat 2015 / (дата обращения: 02.07.2015).Дюжев Н.А. Измеритель потока // Пат. России № 2014140442/28. 2015.