Персоналии
Статьи автора
Приведен анализ возможных механизмов теплоотдачи применительно к микроэлектромеханическим датчикам остаточного давления, основанных на зависимости теплопроводности газа от величины остаточного давления. Указаны особенности явлений переноса применительно к тепловым микросистемам. Приведены экспериментальные зависимости величины тепловых потерь в газ от остаточного давления для различных размеров датчиков.
- Просмотров: 1243 | Комментариев : 0
Рассмотрены недостатки известных конструкций тепловых измерителей перемещений. Предложена конструкция микроэлектронного измерителя микроперемещений в составе датчика остаточного давления. Приведены предварительные метрологические характеристики прибора.
- Просмотров: 1198 | Комментариев : 0