Приведен анализ возможных механизмов теплоотдачи применительно к микроэлектромеханическим датчикам остаточного давления, основанных на зависимости теплопроводности газа от величины остаточного давления. Указаны особенности явлений переноса применительно к тепловым микросистемам. Приведены экспериментальные зависимости величины тепловых потерь в газ от остаточного давления для различных размеров датчиков.