The analysis of the possible mechanisms of the heat transfer as applied to MEMS sensors based on the residual pressure dependence of the gas thermal conductivity on the residual pressure has been carried out. The peculiarities of the transport phenomena in relation to the thermal Microsystems have been shown. The experimental dependence of the heat losses to the gas on the residual pressure for different sizes of sensors has been presented.
Приведен анализ возможных механизмов теплоотдачи применительно к микроэлектромеханическим датчикам остаточного давления, основанных на зависимости теплопроводности газа от величины остаточного давления. Указаны особенности явлений переноса применительно к тепловым микросистемам. Приведены экспериментальные зависимости величины тепловых потерь в газ от остаточного давления для различных размеров датчиков.