Персоналии
Статьи автора
На основании зарубежных литературных источников последних лет и с учетом опыта авторов просуммированы наиболее важные сведения о дефектах в карбиде кремния, причинах их появления и свойствах, о современном уровне исследований дефектов и их влиянии на приборные характеристики.
- Просмотров: 1447 | Комментариев : 0
Приведены сведения о дефектах, существующих в слитках и эпитаксиальных слоях карбида кремния. Рассмотрены микропоры, малоугловые границы и дефекты упаковки.
- Просмотров: 1480 | Комментариев : 0
Представлен анализ проблемы появления включений углерода в монокристалле карбида кремния при выращивании слитков карбида кремния SiC модифицированным методом Лэли (так называемая графитизация слитка). Показано, что процесс графитизации слитка не связан с недостатком кремния в ростовой ячейке, напротив, именно избыток кремния у поверхности роста тормозит скорость процесса роста слитка и приводит к интенсивной коррозии графитовой арматуры.
- Просмотров: 240 | Комментариев : 0