ведущий инженер Института интегральной электроники имени академика К. А. Валиева Национального исследовательского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
Проведено исследование распределения электрических зарядов в окрестностях функциональных КМДП-наноэлементов методами приборно-технологического моделирования