Известия высших учебных заведений. Электроника home

Анализ распределения заряда в интегральных наноразмерных КМДП-структурах

Раздел находится в стадии актуализации

Проведено исследование распределения электрических зарядов в окрестностях функциональных КМДП-наноэлементов методами приборно-технологического моделирования

Ключевые слова: распределение заряда, наноразмерные МОП-структуры, КМОП-структуры, приборно-технологическое моделирование
Опубликовано в разделе: Краткие сообщения
Библиографическая ссылка:

Крупкина Татьяна Юрьевна
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия

Родионов Денис Владимирович
Московский государственный институт электронной техники(технический университет)