Экстракция параметров модели интегральной катушки индуктивности для технологического процесса GaN на кремнии

Раздел находится в стадии актуализации

Нитрид галлия GaN и соединения на его основе, в частности AlxGa1−xN, являются перспективными полупроводниками для мощных и высокочастотных устройств. Активно развивающиеся технологии на основе GaN ориентированы главным образом на разработку аналоговых СВЧ-микросхем, поэтому создание моделей пассивных компонентов СВЧ-тракта и экстракция параметров этих моделей – актуальная задача. В работе предложена модель интегральной катушки индуктивности для технологического процесса GaN на кремнии. Получены аналитические выражения для эффективной индуктивности, входного импеданса, добротности, на основе которых разработана методика экстракции электрических параметров модели катушки из экспериментальных данных. Результаты измерений и моделирования параметров интегральной катушки индуктивности показали хорошее совпадение в диапазоне частот 0,01–10,0 ГГц. Рассмотренная методика экстракции может быть использована при разработке технологических библиотек GaN на кремнии.
Хлыбов Александр Иванович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
Родионов Денис Владимирович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
Котляров Евгений Юрьевич
Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
Лосев Владимир Вячеславович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
Егоркин Владимир Ильич
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)

124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1, МИЭТ, ауд. 7231

+7 (499) 734-62-05
magazine@miee.ru