Персоналии
Главная
О журнале
Этика
Порядок рецензирования
Авторам
Новости
Выпуски
Тематический указатель статей
Индексирование
Подписка
Контакты
Поиск
Известия высших учебных заведений. Электроника: Электроника
Menu button
Известия высших учебных заведений.
Электроника
home
Главная
О журнале
Этика
Порядок рецензирования
Авторам
Новости
Выпуски
Тематический указатель статей
Индексирование
Подписка
Контакты
Поиск
Известия высших учебных заведений. Электроника
Найти
Главная
О журнале
Этика
Порядок рецензирования
Авторам
Новости
Выпуски
Тематический указатель статей
Индексирование
Подписка
Контакты
Поиск
Персоналии
Известия высших учебных заведений
Персоналии
Балашов Александр Геннадьевич
кандидат технических наук, доцент, проректор по учебной работе Национального исследовательского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
Статьи автора
Свернуть
LER-эффект
неровность края фоторезистивной маски
интегральные схемы
фотонные интегральные схемы
элементная база ИС
приборно-технологическое моделирование
САПР
отечественные микроэлектронные технологии
Задать фильтры
Причины возникновения LER-эффекта и методы его минимизации при изготовлении ИС
Просмотров: 1325 | Комментариев : 0
Разработка отечественной САПР приборно-технологического моделирования для микроэлектронных технологий
Просмотров: 1377 | Комментариев : 0