Исследовано влияние нестационарных воздействий в ростовой установке на образование концентрационных микронеоднородностей примеси в кристаллах, выращенных методом вертикальной направленной кристаллизации. Рассчитана концентрационная микронеоднородность при погрешности поддержания температурного профиля в печи в пределах 0,01 - 0,5 К и неравномерном перемещении тигля с шагом от 0,1 до 100 мкм. Даны рекомендации по уменьшению концентрационной микронеоднородности в кристаллах.
- Просмотров: 1297 | Комментариев : 0