Исследовано влияние нестационарных воздействий в ростовой установке на образование концентрационных микронеоднородностей примеси в кристаллах, выращенных методом вертикальной направленной кристаллизации. Рассчитана концентрационная микронеоднородность при погрешности поддержания температурного профиля в печи в пределах 0,01 - 0,5 К и неравномерном перемещении тигля с шагом от 0,1 до 100 мкм. Даны рекомендации по уменьшению концентрационной микронеоднородности в кристаллах.
Литература
1. Birkmann B., Rasp M., Stenzenberger J., Muller G. Growth of 3” and 4” gallium arse-nide crystals by the vertical gradient freeze (VGF) method // J. of Crystal Growth. – 2000. – Vol. 211. – Is. 1–4. – P. 157–162.
2. Марков А.В. Выращивание монокристаллов арсенида галлия с высоким структур-ным совершенством методом вертикально направленной кристаллизации // Изв. вузов. Материалы электронной техники. – 2006. – № 6. – С. 16–19.
3. Hans J. Scheel. Theoretical and technological solution of the striation problem// Journal of Crystal Growth. – 2006. – Vol. 287. – Is. 2. – P. 214–223.
4. Мюллер Г. Выращивание кристаллов из расплава. Конвекция и неоднородности: пер. с англ. – М.: Мир, 1991. – 143 с.
5. Гончаров В.А., Дормидонтов А.Н. Численное моделирование влияния нестацио-нарных условий на образование концентрационных полос роста при выращивании кри-сталлов методом Бриджмена / Изв. вузов. Электроника. – 2013. – №6 (104). – С. 3–9.
6. Гончаров В.А., Марков Е.В. Численная схема моделирования задач термоконвек-ции // Ж. вычисл. матем. и матем. физ. – 1999. – Т. 39. – № 1. – С. 87.
7. Гончаров В.А. Об одном методе решения двухфазной задачи Стефана с неплоской границей // Ж. вычисл. матем. и матем. физ. – 2000. – Т.40. – № 11. – С. 1706–1715.
8. Potard C., Dusserfle P., Duffar T. Impurity striations during Bridgman growth of InSb // Cryst. Res. Technol. – 1997. – Vol. 32. – Is. 7. – P. 925–929.
9. Филиппов М., Бабушкин Ю.В., Грибенюков А.И., Гинсар В.Е. Система управле-ния многозонной термической установкой для выращивания кристаллов по методу Бриджмена // Изв. Томского политехнического университета. – 2010. – Т 316. – № 5. – С. 146–151.
10. Avetisov I.Kh., Zharikov E.V., Zinovev A.Yu., Melkov A.Yu. A computer-based facility for investigating the melt hydrodynamics during Bridgman crystal growth at low-frequency vi-brations in a melt // Instruments and Experimental Techniques. – 2004. – Vol. 47. – Is. 4. – P. 554–561.
11. Гоник М.М., Боевкин В.И. Повышение точности управления температурным ре-жимом в установках выращивания кристаллов // Управление большими системами: сб. тр. – 2010. – № 28. – С. 211–229.
12. Официальный сайт компании ОАО НИИ Изотерм. – URL: http://nii-izoterm.ru/ (да-та обращения: 01.08.2013).
13. Официальный сайт ФГУП «ЦЭНКИ». – URL: http://www.tsenki.com / (дата обра-щения: 06.03.2014).