The influence of the non-stationary effects in the growth equipment on formation of the concentration microinhomogeneities of impurity in crystals, grown by the method of vertical directed crystallization, has been investigated. The concentration microinhomogeneity has been numerically calculated with the furnace temperature profile control error within 0.1 to 0.5 K and with the non-stationary movement of the crucible with the step from 0.1 to 100 microns. The recommendations for reducing the concentration microinhomogeneity in crystals have been given.
Литература
1. Birkmann B., Rasp M., Stenzenberger J., Muller G. Growth of 3” and 4” gallium arse-nide crystals by the vertical gradient freeze (VGF) method // J. of Crystal Growth. – 2000. – Vol. 211. – Is. 1–4. – P. 157–162.
2. Марков А.В. Выращивание монокристаллов арсенида галлия с высоким структур-ным совершенством методом вертикально направленной кристаллизации // Изв. вузов. Материалы электронной техники. – 2006. – № 6. – С. 16–19.
3. Hans J. Scheel. Theoretical and technological solution of the striation problem// Journal of Crystal Growth. – 2006. – Vol. 287. – Is. 2. – P. 214–223.
4. Мюллер Г. Выращивание кристаллов из расплава. Конвекция и неоднородности: пер. с англ. – М.: Мир, 1991. – 143 с.
5. Гончаров В.А., Дормидонтов А.Н. Численное моделирование влияния нестацио-нарных условий на образование концентрационных полос роста при выращивании кри-сталлов методом Бриджмена / Изв. вузов. Электроника. – 2013. – №6 (104). – С. 3–9.
6. Гончаров В.А., Марков Е.В. Численная схема моделирования задач термоконвек-ции // Ж. вычисл. матем. и матем. физ. – 1999. – Т. 39. – № 1. – С. 87.
7. Гончаров В.А. Об одном методе решения двухфазной задачи Стефана с неплоской границей // Ж. вычисл. матем. и матем. физ. – 2000. – Т.40. – № 11. – С. 1706–1715.
8. Potard C., Dusserfle P., Duffar T. Impurity striations during Bridgman growth of InSb // Cryst. Res. Technol. – 1997. – Vol. 32. – Is. 7. – P. 925–929.
9. Филиппов М., Бабушкин Ю.В., Грибенюков А.И., Гинсар В.Е. Система управле-ния многозонной термической установкой для выращивания кристаллов по методу Бриджмена // Изв. Томского политехнического университета. – 2010. – Т 316. – № 5. – С. 146–151.
10. Avetisov I.Kh., Zharikov E.V., Zinovev A.Yu., Melkov A.Yu. A computer-based facility for investigating the melt hydrodynamics during Bridgman crystal growth at low-frequency vi-brations in a melt // Instruments and Experimental Techniques. – 2004. – Vol. 47. – Is. 4. – P. 554–561.
11. Гоник М.М., Боевкин В.И. Повышение точности управления температурным ре-жимом в установках выращивания кристаллов // Управление большими системами: сб. тр. – 2010. – № 28. – С. 211–229.
12. Официальный сайт компании ОАО НИИ Изотерм. – URL: http://nii-izoterm.ru/ (да-та обращения: 01.08.2013).
13. Официальный сайт ФГУП «ЦЭНКИ». – URL: http://www.tsenki.com / (дата обра-щения: 06.03.2014).