кандидат технических наук, доцент Института перспективных материалов и технологий, проректор по научной работе Национального исследовательского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
Приведены сведения о процессе формирования тонких пленок оксида титана вытягиванием подложек из спиртового раствора тетраизопропоксида титана. Показано, что осаждаемый оксид титана содержит сплошную пленку и глобулы оксида титана, образующиеся на ее поверхности. Выявлено, что плотность размещения и высота глобул зависят от скорости вытягивания из раствора и относительной влажности в рабочей камере, а толщина сплошной пленки оксида титана является относительно постоянной величиной.
Представлены результаты исследования сенсорных свойств пленок оксида цинка (ZnO), полученных золь-гель методом. Показано изменение сопротивления пленок в процессе многократного термоциклирования в диапазоне температур 50 - 500 °С в условиях различной относительной влажности (7,5 - 90%) при воздействии микроконцентраций оксидов азота (NO и NO).