Электрический транспорт в пористых структурах Si-Ge/c-Si, сформированных электрохимическим осаждением германия в пористый кремний

Электрический транспорт в пористых структурах Si-Ge/c-Si, сформированных электрохимическим осаждением германия в пористый кремний

Раздел находится в стадии актуализации

Пленочные структуры на основе твердых растворов Si1–хGeх (0 < х < 1) в настоящее время получают методами химического осаждения из газовой фазы. Для приборного применения полученных структур необходимо знать электрофизические свойства материала, синтезированного при разных условиях. В работе проведены гальваномагнитные исследования электропроводности в пористых и сплошных пленках Si1–хGeх, а также концентрации и подвижности основных носителей заряда в них при температуре 30–300 К. Показано, что, как и в чистых кремнии и германии сравнимой пористости, электропроводность в исследованных образцах можно рассматривать как в среде с пустотами. Установлено, что тип основных носителей заряда в сплаве определяется типом использованной кремниевой подложки. Это практически важно для создания обоих плеч термоэлектрического преобразователя, что делает метод получения сплава Si1–хGeх перспективным для приборного применения, в частности в термоэлектрических преобразователях и литий-ионных аккумуляторах.
Горошко Дмитрий Львович
Институт автоматики и процессов управления Дальневосточного отделения Российской академии наук, Россия, 690041, г. Владивосток, ул. Радио, 5
Гаврилин Илья Михайлович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1
Дронов Алексей Алексеевич
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1
Горошко Ольга Александровна
Институт автоматики и процессов управления Дальневосточного отделения Российской академии наук, Россия, 690041, г. Владивосток, ул. Радио, 5
Волкова Лидия Сергеевна
Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, Россия, 119991, г. Москва, Ленинский пр-т, 32А
Гревцов Никита Леонидович
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Беларусь, 220013, г. Минск, ул. Петруся Бровки, 6
Чубенко Евгений Борисович
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Беларусь, 220013, г. Минск, ул. Петруся Бровки, 6
Бондаренко Виталий Парфирович
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Беларусь, 220013, г. Минск, ул. Петруся Бровки, 6

124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1, МИЭТ, ауд. 7231

+7 (499) 734-62-05
magazine@miee.ru