Золь-гель формирование пленок оксида цинка для сенсорных устройств

Раздел находится в стадии актуализации

Представлены результаты исследования сенсорных свойств пленок оксида цинка (ZnO), полученных золь-гель методом. Показано изменение сопротивления пленок в процессе многократного термоциклирования в диапазоне температур 50 - 500 °С в условиях различной относительной влажности (7,5 - 90%) при воздействии микроконцентраций оксидов азота (NO и NO).
Белов Алексей Николаевич
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Борисов Александр Григорьевич
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Гаврилов Сергей Александрович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Гаврилин Илья Михайлович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Дронов Алексей Алексеевич
Московский государственный институт электронной техники (технический университет)
Назаркин Михаил Юрьевич
Московский государственный институт электронной техники(технический университет)
Назаркина Юлия Валерьевна
Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Пятилова Ольга Вениаминовна
Ульяновский государственный университет
Сыса Артем Владимирович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Чиликина Татьяна Дмитриевна
Национальный исследовательский университет «МИЭТ»

124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1, МИЭТ, ауд. 7231

+7 (499) 734-62-05
magazine@miee.ru