Персоналии
Начальник отделения инновационных технологий ОАО «Ангстрем» (г. Москва). Область научных интересов: разработка и внедрение в производство технологии изготовления изделий электронной техники.
Статьи автора
Для повышения рабочего диапазона функционирования КМОП БИС, выполненных по радиационно стойкой технологии КНС, требуется повышение пробивных напряжений n -канальных МОП-транзисторов. Представлены результаты модернизации конструкции и технологического маршрута формирования n -МОП-транзисторов с улучшенным пробивным напряжением, полученные средствами приборно-технологического моделирования TCAD Synopsys.
- Просмотров: 1470 | Комментариев : 0