Рассмотрены проблемы моделирования и характеризации библиотек стандартных элементов СБИС, проектируемых на базе полупроводниковых КМОП-технологий глубоко-субмикронного и нанометрового уровня. Проанализированы методы ускорения процесса характеризации, обеспечивающего идентификацию параметров макромоделей логических элементов при многократном моделировании элементов на схемотехническом уровне для различных вариантов входных воздействий и при различных значениях технологических параметров и режимов работы схем. Предложены алгоритмы построения сетки характеризации, направленные на снижение вычислительных затрат с обеспечением требуемой точности макромоделей. Приведены результаты сравнительного анализа различных вариантов предложенных алгоритмов.