В основе бесконтактного емкостного метода лежит действие электродинамических сил между кантилевером и образцом. В настоящей работе показано, что методика емкостной микроскопии может быть использована при исследовании объектов, содержащих в объеме фазы с различными электрическими свойствами.
1. Быков В.А., Лосев В.В., Саунин С.А. Емкостная методика сканирующей силовой микроскопии в исследовании
распределения легирующей примеси в кремнии // Материалы Всероссийского совещания «Зондовая микроскопия - 1999» (Нижний Новгород, 10-13 марта 1999 г.). - ИФН РАН. - 1999. - С. 134-140.
2. Булатов А.Н., Хартов С.В. Исследование адсорбата воздуха на твердотельных подложках методами атомно-силовой микроскопии // Изв. вузов. Электроника. - 2004. -№ 4. - С. 9-17.
3. Бобринецкий И.И., Неволин В.К., Строганов А.А. «Засвечивание» углеродных нанотрубок в атомно-силовом
микроскопе // Изв. вузов. Электроника. - 2004. -№ 3. - С. 83-85.