It has been shown that the presence of adsorbate on the measured surfaces in air changes the conditions of the capacitance technique applicability in the scanning probe microscopy and increases its resolution. The technique realization examples have been presented.
1. Быков В.А., Лосев В.В., Саунин С.А. Емкостная методика сканирующей силовой микроскопии в исследовании
распределения легирующей примеси в кремнии // Материалы Всероссийского совещания «Зондовая микроскопия - 1999» (Нижний Новгород, 10-13 марта 1999 г.). - ИФН РАН. - 1999. - С. 134-140.
2. Булатов А.Н., Хартов С.В. Исследование адсорбата воздуха на твердотельных подложках методами атомно-силовой микроскопии // Изв. вузов. Электроника. - 2004. -№ 4. - С. 9-17.
3. Бобринецкий И.И., Неволин В.К., Строганов А.А. «Засвечивание» углеродных нанотрубок в атомно-силовом
микроскопе // Изв. вузов. Электроника. - 2004. -№ 3. - С. 83-85.