<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<article xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xmlns:ali="http://www.niso.org/schemas/ali/1.0/" article-type="research-article" dtd-version="1.2" xml:lang="en">
  <front>
    <journal-meta>
      <journal-id journal-id-type="issn">1561-5405</journal-id>
	    <journal-id journal-id-type="doi">10.24151/1561-5405</journal-id>	  
      <journal-id journal-id-type="publisher-id">Proceedings of Universities. Electronics</journal-id>
      <journal-title-group>
        <journal-title xml:lang="en">Scientifical and technical journal "Proceedings of Universities. Electronics"</journal-title>
        <trans-title-group xml:lang="ru">
          <trans-title>Научно-технический журнал «Известия высших учебных заведений. Электроника»</trans-title>
        </trans-title-group>        
      </journal-title-group>      
      <issn publication-format="print">1561-5405</issn>
      <issn publication-format="online">2587-9960</issn>
      <publisher>
        <publisher-name xml:lang="en">National Research University of Electronic Technology</publisher-name>
        <publisher-name xml:lang="ru">Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"</publisher-name>
      </publisher>
    </journal-meta>
    <article-meta>                                    
      
    <article-id pub-id-type="risc">12871832</article-id><article-id pub-id-type="udk">621.38.049.77.002.3</article-id><article-categories><subj-group><subject>Краткие сообщения</subject></subj-group></article-categories><title-group><article-title xml:lang="en">Scanning Probe Microscopy Capacitance Technique in Air</article-title><trans-title-group xml:lang="ru"><trans-title>Емкостная методика сканирующей зондовой микроскопии в атмосфере воздуха</trans-title></trans-title-group></title-group><contrib-group><contrib contrib-type="author"><string-name xml:lang="ru">Бобринецкий Иван Иванович</string-name><name-alternatives><name xml:lang="ru"><surname>Бобринецкий</surname><given-names>Иван Иванович</given-names></name><name xml:lang="en"><surname>Bobrinetskiy</surname><given-names>Ivan I.</given-names></name></name-alternatives><string-name xml:lang="en">Ivan I. Bobrinetskiy</string-name><xref ref-type="aff" rid="AFF-1"/></contrib><contrib contrib-type="author"><string-name xml:lang="ru">Лосев Виктор Васильевич </string-name><name-alternatives><name xml:lang="ru"><surname>Лосев</surname><given-names>Виктор Васильевич </given-names></name><name xml:lang="en"><surname>Vasilevich</surname><given-names>Losev Viktor</given-names></name></name-alternatives><string-name xml:lang="en">Losev Viktor Vasilevich</string-name><xref ref-type="aff" rid="AFF-1"/></contrib><aff id="AFF-1" xml:lang="ru">Московский государственный институт электронной техники (технический университет)</aff></contrib-group><fpage>85</fpage><lpage>87</lpage><self-uri>http://ivuz-e.ru/issues/74-_2008/emkostnaya_metodika_skaniruyushchey_zondovoy_mikroskopii_v_atmosfere_vozdukha/</self-uri><self-uri content-type="pdf">http://ivuz-e.ru/download/74_2008_2752.pdf</self-uri><abstract xml:lang="en"><p>It has been shown that the presence of adsorbate on the measured surfaces in air changes the conditions of the capacitance technique applicability in the scanning probe microscopy and increases its resolution. The technique realization examples have been presented.</p></abstract><trans-abstract xml:lang="ru"><p>В основе бесконтактного емкостного метода лежит действие электродинамических сил между кантилевером и образцом. В настоящей работе показано, что методика емкостной микроскопии может быть использована при исследовании объектов, содержащих в объеме фазы с различными электрическими свойствами.</p></trans-abstract><kwd-group xml:lang="ru"><kwd/></kwd-group><funding-group/></article-meta>
  </front>
  <body/>
  <back>
    <ref-list><ref id="B1"><label>1.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Быков В.А., Лосев В.В., Саунин С.А. Емкостная методика сканирующей силовой микроскопии в исследовании</mixed-citation></ref><ref id="B2"><label>3.</label><mixed-citation xml:lang="ru">распределения легирующей примеси в кремнии // Материалы Всероссийского совещания «Зондовая микроскопия - 1999» (Нижний Новгород, 10-13 марта 1999 г.). - ИФН РАН. - 1999. - С. 134-140.</mixed-citation></ref><ref id="B3"><label>2.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Булатов А.Н., Хартов С.В. Исследование адсорбата воздуха на твердотельных подложках методами атомно-силовой микроскопии // Изв. вузов. Электроника. - 2004. -№ 4. - С. 9-17.</mixed-citation></ref><ref id="B4"><label>3.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Бобринецкий И.И., Неволин В.К., Строганов А.А. «Засвечивание» углеродных нанотрубок в атомно-силовом</mixed-citation></ref><ref id="B5"><label>6.</label><mixed-citation xml:lang="ru">микроскопе // Изв. вузов. Электроника. - 2004. -№ 3. - С. 83-85.</mixed-citation></ref></ref-list>    
  </back>
</article>
