Том 22 №6

Содержание

Свернуть

Mатериалы электроники

Авторы: Кравцова В. Д., Умерзакова М. Б., Коробова Н. Е., Вертянов Д.В.
509 - 517

Технологические процессы и маршруты

Авторы: Супонников Д. А., Баринов А. А., Путилин А. Н.
528 - 545
Авторы: Усачев Н. А., Елесин В. В., Назарова Г. Н., Сотсков Д. И., Никифоров А. Ю., Чуков Г. В., Метелкин И. О., Жидков Н. М., Дмитриев В. А., Селецкий А. В., Шелепин Н. А.
546 - 558

Элементы интегральной электроники

Авторы: Вигдорович Е. Н.
559 - 568

Краткие сообщения

Авторы: Высоких Ю. Е., Краснобородько С. Ю., Шевяков В. И., Бержанский В. Н., Михайлова Т. В., Шапошников А. Н., Прокопов А. Р., Недвига А. С.
596 - 601
Авторы: Жгунев З. Г., Татаринова Е. А., Дабагов А. Р.
602 - 607
Авторы: Редколлегия
609 - 610