Показана возможность использования закономерностей макроскопической (классической) термогидродинамики и определены ее пространственно-временные ограничения при моделировании теплообмена микронных тепловыделяющих элементов микрозеркальных микроэлектромеханических систем (МЭМС) различной геометрии. Основными задачами моделирования являются определение эксплуатационных характеристик микрозеркальных МЭМС и пути оптимизации этих показателей. Приведен пример практической апробации модели теплообмена тепловыделяющего элемента термомеханического актюатора, входящего в состав микрозеркальной МЭМС. Результаты моделирования подтверждены адекватностью экспериментальным исследованиям.
1. Kurdyumov V. N., Lifian A. Free convection from a point source of heat, and heattransfer from spheres at small Grashof numbers // International Journal of Heat and Mass Transfer. – 1999. – Vol. 42. – P. 3849–3860.
2. Mohammad H. S., Arman S., Belmiloudi A. Heat transfer - mathematical modelling, numerical methods and information technology. – InTech, 2011. – 654 p.
3. Болгарский А. В., Мухачев Г. А., Щукин В. К. Термодинамика и теплопередача. – М.: Высшая школа, 1975. – 495 c.
4. Дмитриев А. С. Тепловые процессы в наноструктурах. – М.: Издательский дом МЭИ, 2012. – 302 c.
5. Шорин С. Н. Теплопередача. – М.: Высшая школа, 1966. – 490 c.
6. Михеев М. А., Михеева И. М. Основы теплопередачи. – М.: Энергия, 1973. – 320 c.
7. Расчет и экспериментальное исследование температурной зависимости угла отклонения элемента микрозеркала / С.П. Тимошенков, С.С. Евстафьев, И.М. Бритков и др. // Изв. вузов. Электроника. – 2014. – № 3(107). – C. 43–49.
8. Распределение температуры по длине термомеханического актюатора / С.П. Тимошенков, В.К. Самойликов, С.С. Евстафьев и др. // Изв. вузов. Электроника. – 2015. – Т. 20. – № 4. – C. 397–404.