The possibility of using the macroscopic laws of (classical) thermohydrodynamics and its space-time limitations in modeling heat transfer from micron-sized MEMS micromirror elements of different geometry has been discussed. The main objectives of the modeling is to determine the performance of MEMS micromirror and the direction of ways to optimize these parameters. An example of practical testing of heat transfer model of thermo-mechanical actuator, which is a part of the micromirror MEMS, has been provided. The modelling results have been justified by the adequacy with the experimental testing.
1. Kurdyumov V. N., Lifian A. Free convection from a point source of heat, and heattransfer from spheres at small Grashof numbers // International Journal of Heat and Mass Transfer. – 1999. – Vol. 42. – P. 3849–3860.
2. Mohammad H. S., Arman S., Belmiloudi A. Heat transfer - mathematical modelling, numerical methods and information technology. – InTech, 2011. – 654 p.
3. Болгарский А. В., Мухачев Г. А., Щукин В. К. Термодинамика и теплопередача. – М.: Высшая школа, 1975. – 495 c.
4. Дмитриев А. С. Тепловые процессы в наноструктурах. – М.: Издательский дом МЭИ, 2012. – 302 c.
5. Шорин С. Н. Теплопередача. – М.: Высшая школа, 1966. – 490 c.
6. Михеев М. А., Михеева И. М. Основы теплопередачи. – М.: Энергия, 1973. – 320 c.
7. Расчет и экспериментальное исследование температурной зависимости угла отклонения элемента микрозеркала / С.П. Тимошенков, С.С. Евстафьев, И.М. Бритков и др. // Изв. вузов. Электроника. – 2014. – № 3(107). – C. 43–49.
8. Распределение температуры по длине термомеханического актюатора / С.П. Тимошенков, В.К. Самойликов, С.С. Евстафьев и др. // Изв. вузов. Электроника. – 2015. – Т. 20. – № 4. – C. 397–404.