1561-5405 10.24151/1561-5405 Proceedings of Universities. Electronics Scientifical and technical journal "Proceedings of Universities. Electronics" Научно-технический журнал «Известия высших учебных заведений. Электроника» 1561-5405 2587-9960 National Research University of Electronic Technology Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" 621.38.049.77Микро- и наносистемная техникаSome Features of Heat Exchange in Micro System ElementsМодель теплообмена тепловыделяющих элементов микрозеркальных МЭМССамойликов Вячеслав Константинович СамойликовВячеслав Константинович KonstantinovichSamoylikov VyacheslavSamoylikov Vyacheslav KonstantinovichТимошенков Сергей ПетровичТимошенковСергей ПетровичTimoshenkovSergey P.Sergey P. TimoshenkovЕвстафьев Сергей Сергеевич ЕвстафьевСергей Сергеевич SergeevichEvstafev SergeyEvstafev Sergey SergeevichНациональный исследовательский университет «МИЭТ»Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия333340http://ivuz-e.ru/issues/4-_2016/model_teploobmena_teplovydelyayushchikh_elementov_mikrozerkalnykh_mems/http://ivuz-e.ru/download/4_2016_1663.pdf

The possibility of using the macroscopic laws of (classical) thermohydrodynamics and its space-time limitations in modeling heat transfer from micron-sized MEMS micromirror elements of different geometry has been discussed. The main objectives of the modeling is to determine the performance of MEMS micromirror and the direction of ways to optimize these parameters. An example of practical testing of heat transfer model of thermo-mechanical actuator, which is a part of the micromirror MEMS, has been provided. The modelling results have been justified by the adequacy with the experimental testing.

Показана возможность использования закономерностей макроскопической (классической) термогидродинамики и определены ее пространственно-временные ограничения при моделировании теплообмена микронных тепловыделяющих элементов микрозеркальных микроэлектромеханических систем (МЭМС) различной геометрии. Основными задачами моделирования являются определение эксплуатационных характеристик микрозеркальных МЭМС и пути оптимизации этих показателей. Приведен пример практической апробации модели теплообмена тепловыделяющего элемента термомеханического актюатора, входящего в состав микрозеркальной МЭМС. Результаты моделирования подтверждены адекватностью экспериментальным исследованиям.

МЭМСтермогидродинамикатеплообментермомеханический актюатормоделированиеметоды расчета Kurdyumov V. N., Lifian A. Free convection from a point source of heat, and heattransfer from spheres at small Grashof numbers // International Journal of Heat and Mass Transfer. – 1999. – Vol. 42. – P. 3849–3860.Mohammad H. S., Arman S., Belmiloudi A. Heat transfer - mathematical modelling, numerical methods and information technology. – InTech, 2011. – 654 p.Болгарский А. В., Мухачев Г. А., Щукин В. К. Термодинамика и теплопередача. – М.: Высшая школа, 1975. – 495 c.Дмитриев А. С. Тепловые процессы в наноструктурах. – М.: Издательский дом МЭИ, 2012. – 302 c.Шорин С. Н. Теплопередача. – М.: Высшая школа, 1966. – 490 c.Михеев М. А., Михеева И. М. Основы теплопередачи. – М.: Энергия, 1973. – 320 c.Расчет и экспериментальное исследование температурной зависимости угла отклонения элемента микрозеркала / С.П. Тимошенков, С.С. Евстафьев, И.М. Бритков и др. // Изв. вузов. Электроника. – 2014. – № 3(107). – C. 43–49.Распределение температуры по длине термомеханического актюатора / С.П. Тимошенков, В.К. Самойликов, С.С. Евстафьев и др. // Изв. вузов. Электроника. – 2015. – Т. 20. – № 4. – C. 397–404.