Исследованы возможности корректировки параметров микроэлектромеханических кольцевых датчиков угловой скорости с помощью балансировки, осуществляемой изменением массы отдельных сегментов кольца, и оптимизации внутрикорпусного давления в процессе изготовления таких приборов. Получены положительные результаты для опытных образцов. Предложен алгоритм реализации балансировки посредством изменения массы сегментов кольца, позволяющий уменьшить разность резонансных частот колебаний кольца в различных направлениях.
Анчутин Степан Александрович
ООО «Лаборатория микроприборов», г. Москва, Россия; Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Тимошенков Алексей Сергеевич
ООО «Лаборатория микроприборов», г. Москва, Россия; Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
1. Микросистемная техника. Моделирование, технология, контроль: сб. науч. тр. / Под ред. С.П. Тимошенкова. – М.: МИЭТ, 2007. – 208 с.
2. Комченков В.И., Петров В.Ф., Симонов С.Б., Терентьев А.И. Методика построе-ния роботизированных безэкипажных объектов наземного базирования // Изв. ЮФУ. Технические науки. – 2013. – № 3 (140).
3. Исследование влияния эксплуатационных факторов на функциональные парамет-ры и характеристики микроэлектромеханических устройств / С.П. Тимошенков, В.Ф. Шилов, А.Н. Бойко и др. // Оборонный комплекс – научно-техническому прогрессу Рос-сии. – 2006. – № 2. – С. 7–12.
4. Егармин Н.Е. Свободные и вынужденные колебания вращающегося вязкоупругого кольца // Изв. АН СССР. Механика твердого тела. – 1986. – № 2. – С. 150–154.
5. Липатников В.И, Матвеев В.А. Система съема информации твердотельного вол-нового гироскопа // Вестник МГТУ им. Н.Баумана. – 1997. – № 1. – С. 109–113.
6. Тимошенков С.П., Бойко А.Н., Симонов Б.М. Методика оценки параметров чув-ствительных элементов микроакселерометров и микрозеркал // Изв. вузов. Электроника. – 2007. – № 5. – С. 23–29.
7. Тимошенков С., Бойко А., Симонов Б. Чувствительные элементы МЭМС: техноло-гия определяет параметры // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. – 2008. – №1. – С. 80–82.
8. Распопов В.Я. Гироприборы и системы управления ракет ближней тактической зо-ны. – Тула: Изд-во ТулГУ, 2013. – 248 с.
9. http://c1170156.r56.cf3.rackcdn.com/UK_SSI_CRM100_1DS.pdf (дата обращения: 15.01.2014)