The possibilities of adjusting the parameters of the MEMS angular rate ring sensors using the balancing, effected by changing the mass of individual segments of the ring and the optimization of in-situ pressure in the manufacturing process of these devices, have been investigated. The positive results for the test samples have been obtained. An algorithm for performing the balancing by changing the mass of the ring segments, permitting to reduce the difference between the resonance frequency of the ring in different directions, has been proposed.
Stepan A. Anchutin
”Laboratory of Micro-Devices” Ltd., Moscow, Russia; National Research University of Electronic Technology, Moscow, Russia
1. Микросистемная техника. Моделирование, технология, контроль: сб. науч. тр. / Под ред. С.П. Тимошенкова. – М.: МИЭТ, 2007. – 208 с.
2. Комченков В.И., Петров В.Ф., Симонов С.Б., Терентьев А.И. Методика построе-ния роботизированных безэкипажных объектов наземного базирования // Изв. ЮФУ. Технические науки. – 2013. – № 3 (140).
3. Исследование влияния эксплуатационных факторов на функциональные парамет-ры и характеристики микроэлектромеханических устройств / С.П. Тимошенков, В.Ф. Шилов, А.Н. Бойко и др. // Оборонный комплекс – научно-техническому прогрессу Рос-сии. – 2006. – № 2. – С. 7–12.
4. Егармин Н.Е. Свободные и вынужденные колебания вращающегося вязкоупругого кольца // Изв. АН СССР. Механика твердого тела. – 1986. – № 2. – С. 150–154.
5. Липатников В.И, Матвеев В.А. Система съема информации твердотельного вол-нового гироскопа // Вестник МГТУ им. Н.Баумана. – 1997. – № 1. – С. 109–113.
6. Тимошенков С.П., Бойко А.Н., Симонов Б.М. Методика оценки параметров чув-ствительных элементов микроакселерометров и микрозеркал // Изв. вузов. Электроника. – 2007. – № 5. – С. 23–29.
7. Тимошенков С., Бойко А., Симонов Б. Чувствительные элементы МЭМС: техноло-гия определяет параметры // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. – 2008. – №1. – С. 80–82.
8. Распопов В.Я. Гироприборы и системы управления ракет ближней тактической зо-ны. – Тула: Изд-во ТулГУ, 2013. – 248 с.
9. http://c1170156.r56.cf3.rackcdn.com/UK_SSI_CRM100_1DS.pdf (дата обращения: 15.01.2014)