1561-5405 10.24151/1561-5405 Proceedings of Universities. Electronics Scientifical and technical journal "Proceedings of Universities. Electronics" Научно-технический журнал «Известия высших учебных заведений. Электроника» 1561-5405 2587-9960 National Research University of Electronic Technology Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" 681.586Микро- и наносистемная техникаBalancing of Silicon Speed Sensors during Manufacturing ProcessБалансировка кремниевых датчиков угловой скорости в процессе изготовленияТимошенков Сергей ПетровичТимошенковСергей ПетровичTimoshenkovSergey P.Sergey P. TimoshenkovСимонов Борис Михайлович СимоновБорис Михайлович MikhaylovichSimonov BorisSimonov Boris MikhaylovichБритков Олег Михайлович БритковОлег Михайлович MikhaylovichBritkov OlegBritkov Oleg MikhaylovichАнчутин Степан АлександровичАнчутинСтепан АлександровичAnchutinStepan A.Stepan A. AnchutinТимошенков Алексей СергеевичТимошенковАлексей СергеевичTimoshenkovAlexey S.Alexey S. TimoshenkovНациональный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, РоссияНациональный исследовательский университет «МИЭТ»ООО «Лаборатория микроприборов», г. Москва, Россия; Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия5867http://ivuz-e.ru/issues/1-_2015/balansirovka_kremnievykh_datchikov_uglovoy_skorosti_v_protsesse_izgotovleniya/http://ivuz-e.ru/download/1_2015_2006.pdf

The possibilities of adjusting the parameters of the MEMS angular rate ring sensors using the balancing, effected by changing the mass of individual segments of the ring and the optimization of in-situ pressure in the manufacturing process of these devices, have been investigated. The positive results for the test samples have been obtained. An algorithm for performing the balancing by changing the mass of the ring segments, permitting to reduce the difference between the resonance frequency of the ring in different directions, has been proposed.

Исследованы возможности корректировки параметров микроэлектромеханических кольцевых датчиков угловой скорости с помощью балансировки, осуществляемой изменением массы отдельных сегментов кольца, и оптимизации внутрикорпусного давления в процессе изготовления таких приборов. Получены положительные результаты для опытных образцов. Предложен алгоритм реализации балансировки посредством изменения массы сегментов кольца, позволяющий уменьшить разность резонансных частот колебаний кольца в различных направлениях.

датчик угловой скоростикольцевой микрогироскопбалансировкадемпфированиечувствительный элемент Микросистемная техника. Моделирование, технология, контроль: сб. науч. тр. / Под ред. С.П. Тимошенкова. – М.: МИЭТ, 2007. – 208 с.Комченков В.И., Петров В.Ф., Симонов С.Б., Терентьев А.И. Методика построе-ния роботизированных безэкипажных объектов наземного базирования // Изв. ЮФУ. Технические науки. – 2013. – № 3 (140).Исследование влияния эксплуатационных факторов на функциональные парамет-ры и характеристики микроэлектромеханических устройств / С.П. Тимошенков, В.Ф. Шилов, А.Н. Бойко и др. // Оборонный комплекс – научно-техническому прогрессу Рос-сии. – 2006. – № 2. – С. 7–12.Егармин Н.Е. Свободные и вынужденные колебания вращающегося вязкоупругого кольца // Изв. АН СССР. Механика твердого тела. – 1986. – № 2. – С. 150–154.Липатников В.И, Матвеев В.А. Система съема информации твердотельного вол-нового гироскопа // Вестник МГТУ им. Н.Баумана. – 1997. – № 1. – С. 109–113.Тимошенков С.П., Бойко А.Н., Симонов Б.М. Методика оценки параметров чув-ствительных элементов микроакселерометров и микрозеркал // Изв. вузов. Электроника. – 2007. – № 5. – С. 23–29.Тимошенков С., Бойко А., Симонов Б. Чувствительные элементы МЭМС: техноло-гия определяет параметры // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. – 2008. – №1. – С. 80–82.Распопов В.Я. Гироприборы и системы управления ракет ближней тактической зо-ны. – Тула: Изд-во ТулГУ, 2013. – 248 с.http://c1170156.r56.cf3.rackcdn.com/UK_SSI_CRM100_1DS.pdf (дата обращения: 15.01.2014)