Персоналии
Статьи автора
- Просмотров: 395 | Комментариев : 0
Важным узлом электронного микроскопа является система управления электронным лучом, отвечающая за формирование растра на образце и фокусировку электронного зонда, обеспечивающую достижение минимума аберраций и максимума разрешающей способности у формируемого электронного изображения. При эксплуатации электронного микроскопа происходит постепенное ухудшение качества изображения, проявляющееся в снижении разрешающей способности и усиленном проявлении астигматизма. В работе представлена приставка для растрового электронного микроскопа, позволяющая проводить высокоэффективную диагностику конфигурации сканирующего электронного луча, управляемого прецизионной магнитооптической системой. Установлено, что непосредственное визуальное наблюдение за сканирующим электронным зондом, в частности оценка эллиптичности его сечения, с помощью матрицы веб-камеры, совмещенной с плоскостью образца, обеспечивает эффективную настройку и ремонт растрового электронного микроскопа.
- Просмотров: 669 | Комментариев : 0