Важным узлом электронного микроскопа является система управления электронным лучом, отвечающая за формирование растра на образце и фокусировку электронного зонда, обеспечивающую достижение минимума аберраций и максимума разрешающей способности у формируемого электронного изображения. При эксплуатации электронного микроскопа происходит постепенное ухудшение качества изображения, проявляющееся в снижении разрешающей способности и усиленном проявлении астигматизма. В работе представлена приставка для растрового электронного микроскопа, позволяющая проводить высокоэффективную диагностику конфигурации сканирующего электронного луча, управляемого прецизионной магнитооптической системой. Установлено, что непосредственное визуальное наблюдение за сканирующим электронным зондом, в частности оценка эллиптичности его сечения, с помощью матрицы веб-камеры, совмещенной с плоскостью образца, обеспечивает эффективную настройку и ремонт растрового электронного микроскопа.
Силаев Иван Вадимович
Северо-Осетинский государственный университет имени К.Л. Хетагурова, г. Владикавказ, Россия
Гончаров Игорь Николаевич
Северо-Кавказский горно-металлургический институт (государственный технологический университет), г. Владикавказ, Россия; Северо-Осетинский государственный университет имени К.Л. Хетагурова, г. Владикавказ, Россия
1. Белоусова Г.В. Возможности сканирующего электронного микроскопа при проведении сравни-тельных анализов образцов // Студенческая наука и XXI век. 2018. № 16-1. С. 21–24.
2. Шахнович И.В. Современные растровые электронные микроскопы: все сложнее, все проще //
Лаборатория и производство. 2018. № 2. С. 78–81.
3. Литография нанометрового разрешения на основе напыляемого полистирола / Г.А. Жарик,
С.А. Дагесян, Е.С. Солдатов и др. // Вестник Московского университета. Сер. 3. Физика. Астрономия. 2017. № 6. С. 120–124.
4. ГОСТ Р 8.636-2007 ГСИ. Микроскопы электронные. Методика калибровки. URL: https://allgosts.ru/17/040/gost_r_8.636-2007 (дата обращения: 02.09.2020).
5. Зайцева Ю.В., Тарасенко Л.М., Рыжиков В.Д., Силин В.И. Флуоресцирующий экран для визуа-лизации электронного зонда // Патент СССР № 1497640. 1989. Бюл. № 28. URL: https://patents.su/3-1497640-fluoresciruyushhijj-ehkran-dlya-vizualizacii-ehlektronnogo-zonda.html (дата обращения: 02.09.2020).
6. Ляпин А.А. Современные технологии визуализации тонких структур. Растровая электронная микроскопия. Ч. 3 // Вектор высоких технологий. 2015. №4(17). С. 18–21.