Метод и реализация высокоэффективной диагностики формы электронного зонда растрового электронного микроскопа

Метод и реализация высокоэффективной диагностики формы электронного зонда растрового электронного микроскопа

Важным узлом электронного микроскопа является система управления электронным лучом, отвечающая за формирование растра на образце и фокусировку электронного зонда, обеспечивающую достижение минимума аберраций и максимума разрешающей способности у формируемого электронного изображения. При эксплуатации электронного микроскопа происходит постепенное ухудшение качества изображения, проявляющееся в снижении разрешающей способности и усиленном проявлении астигматизма. В работе представлена приставка для растрового электронного микроскопа, позволяющая проводить высокоэффективную диагностику конфигурации сканирующего электронного луча, управляемого прецизионной магнитооптической системой. Установлено, что непосредственное визуальное наблюдение за сканирующим электронным зондом, в частности оценка эллиптичности его сечения, с помощью матрицы веб-камеры, совмещенной с плоскостью образца, обеспечивает эффективную настройку и ремонт растрового электронного микроскопа.
Иван Вадимович Силаев
Северо-Осетинский государственный университет имени К.Л. Хетагурова, г. Владикавказ, Россия
Игорь Николаевич Гончаров
Северо-Кавказский горно-металлургический институт (государственный технологический университет), г. Владикавказ, Россия; Северо-Осетинский государственный университет имени К.Л. Хетагурова, г. Владикавказ, Россия
Тамерлан Таймуразович Магкоев
Северо-Осетинский государственный университет имени К.Л. Хетагурова, г. Владикавказ, Россия
Татьяна Ивановна Радченко
Северо-Осетинский государственный университет имени К.Л. Хетагурова, г. Владикавказ, Россия
Поделиться