Метод и реализация высокоэффективной диагностики формы электронного зонда растрового электронного микроскопа

Метод и реализация высокоэффективной диагностики формы электронного зонда растрового электронного микроскопа

Раздел находится в стадии актуализации

Важным узлом электронного микроскопа является система управления электронным лучом, отвечающая за формирование растра на образце и фокусировку электронного зонда, обеспечивающую достижение минимума аберраций и максимума разрешающей способности у формируемого электронного изображения. При эксплуатации электронного микроскопа происходит постепенное ухудшение качества изображения, проявляющееся в снижении разрешающей способности и усиленном проявлении астигматизма. В работе представлена приставка для растрового электронного микроскопа, позволяющая проводить высокоэффективную диагностику конфигурации сканирующего электронного луча, управляемого прецизионной магнитооптической системой. Установлено, что непосредственное визуальное наблюдение за сканирующим электронным зондом, в частности оценка эллиптичности его сечения, с помощью матрицы веб-камеры, совмещенной с плоскостью образца, обеспечивает эффективную настройку и ремонт растрового электронного микроскопа.
Силаев Иван Вадимович
Северо-Осетинский государственный университет имени К.Л. Хетагурова, г. Владикавказ, Россия
Гончаров Игорь Николаевич
Северо-Кавказский горно-металлургический институт (государственный технологический университет), г. Владикавказ, Россия; Северо-Осетинский государственный университет имени К.Л. Хетагурова, г. Владикавказ, Россия
Магкоев Тамерлан Таймуразович
Северо-Осетинский государственный университет имени К.Л. Хетагурова, г. Владикавказ, Россия
Радченко Татьяна Ивановна
Северо-Осетинский государственный университет имени К.Л. Хетагурова, г. Владикавказ, Россия

124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1, МИЭТ, ауд. 7231

+7 (499) 734-62-05
magazine@miee.ru