Персоналии

Введение металлического наполнителя в конструкцию ИС - обязательный этап в производственном цикле изготовления ИС, поэтому многие работы направлены на исследование процесса введения наполнителя с небольшой паразитной емкостью. С развитием технологий масштабирования ужесточаются требования к значению падения напряжения, поскольку его высокое значение может привести к сбоям в работе ИС. В работе для гарантированного уменьшения падения напряжения предложен подход, заключающийся во вставке в конструкцию ИС металлических заливок, которые привязаны к питанию и заземлению, и последующем добавлении фиктивных металлических форм с учетом времени. Установлено, что добавление форм питания и заземления создает экранные слои и в итоге падение напряжения оптимизируется. Вставка металлического наполнителя в конструкцию ИС с учетом временных параметров обеспечивает окончательную плотность металлов. Эксперименты показали, что при использовании предложенного метода падение напряжения сократилось примерно на 11,9 % в среднем для пяти разных конструкций ИС, однако время работы программного средства размещения и трассировки увеличилось примерно на 27,8 %, а общая паразитная емкость возросла примерно на 4,4 %.

• Просмотров: 1368 | Комментариев : 0