Персоналии

Обоснована и экспериментально продемонстрирована возможность заполнения медью узких канавок и контактных окон, используя эффект понижения температуры плавления пленки меди с уменьшением ее толщины. Показано, что температура процесса заполнения канавок существенно ниже температуры плавления объемной меди и зависит от толщины пленки меди. Этот факт обусловлен не только изменением соотношения удельной поверхностной и удельной объемной энергий при фазовом переходе, но и изменением соотношения площади поверхности и объема.

• Просмотров: 630 | Комментариев : 0