Персоналии
аспирант кафедры квантовой физики и наноэлектроники (КФН) МИЭТ, младший научный сотрудник Научно-образовательного центра «Зондовая микроскопия и нанатехнология» (НОЦ ЗМНТ) МИЭТ. Область научных интересов: нанотехнология, наноэлектроника, ионная литография, транзисторы с высокой подвижностью электронов, нитридная электроника, молекулярно-лучевая эпитаксия, атомно-силовая микроскопия, СВЧ-электроника.
Статьи автора
Изложена методика формирования наноразмерного затвора мощного СВЧ-транзистора. Определены оптимальные параметры экспонирования резистов 950-ПММА-А2 и ЭЛП-20. Исследован технологический маршрут ионно-лучевой литографии с применением многослойных резистов. Отработана технология создания непрерывной сетки заземленных знаков совмещения поверх чувствительного к ионам резиста для визуализации знаков совмещения на диэлектрической подложке методом ионной микроскопии.
- Просмотров: 1600 | Комментариев : 0