аспирант кафедры информатики, электроники и компьютерных технологий Кабардино-Балкарского государственного университета им. Х.М. Бербекова (Россия, 360000, г. Нальчик, ул. Чернышевского, 173)
Существующие способы получения катодов с низкими значениями поля не позволяют создавать приборные структуры, удовлетворяющие требованиям разработчиков систем. В работе рассмотрены автоэмиссионные катоды большой площади с однородными эмиссионными свойствами рабочей поверхности и низкими рабочими напряжениями (<1кэВ). Проведено исследование катода Спиндта с количеством кремниевых микроострий до 6000 и плотностью упаковки ~1×10 см. Электродуговым методом на микроострия осаждались пленки из нитрида титана и углерода. Показано, что катод имеет невысокую однородность эмиссии из-за проблемы воспроизведения микроострий только одинаковой формы и размеров. Создан катод на основе микроканальной пластины с каналами диаметром 6 мкм, внутри которых электродуговым способом сформированы графитоподобные наноструктуры. Установлено, что в результате усиления электронного потока в каналах микроканальной пластины можно значительно снизить рабочее напряжение (< 1кэВ) и получить высокую однородность эмиссии при предельно допустимом значении выходного тока.