Автоэмиссионные катоды на основе микроканальных пластин

Существующие способы получения катодов с низкими значениями поля не позволяют создавать приборные структуры, удовлетворяющие требованиям разработчиков систем. В работе рассмотрены автоэмиссионные катоды большой площади с однородными эмиссионными свойствами рабочей поверхности и низкими рабочими напряжениями (<1кэВ). Проведено исследование катода Спиндта с количеством кремниевых микроострий до 6000 и плотностью упаковки ~1×10 см. Электродуговым методом на микроострия осаждались пленки из нитрида титана и углерода. Показано, что катод имеет невысокую однородность эмиссии из-за проблемы воспроизведения микроострий только одинаковой формы и размеров. Создан катод на основе микроканальной пластины с каналами диаметром 6 мкм, внутри которых электродуговым способом сформированы графитоподобные наноструктуры. Установлено, что в результате усиления электронного потока в каналах микроканальной пластины можно значительно снизить рабочее напряжение (< 1кэВ) и получить высокую однородность эмиссии при предельно допустимом значении выходного тока.
Залим Мухамедович Хамдохов
Кабардино-Балкарский научный центр Российской академии наук, г. Нальчик, Россия
Заур Чамалович Маргушев
Кабардино-Балкарский научный центр Российской академии наук, г. Нальчик, Россия
Эльдар Залимович Хамдохов
Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова, г. Нальчик, Россия
Руслан Шахбанович Тешев
Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова, г. Нальчик, Россия
Мухамед Данильевич Бавижев
Научно-исследовательский центр АО НПП «Радий», г. Москва, Россия
Поделиться