Перспективным материалом для создания холодных катодов являются углеродные пленки с приемлемыми эмиссионными свойствами и удовлетворительной адгезией к подложке. Включения металлических элементов в углеродную пленку, например хрома, титана и т.д., улучшают ее адгезию к подложке. В работе представлен один из способов получения покрытий на основе углерода и титана - электродуговое распыление композитного катода Ti/C в атмосфере аргона. Отмечено, что наличие в общем плазменном потоке микрочастиц углерода является источником структурных дефектов в растущей пленке. Решить данную проблему позволяет магнитная сепарация углеродной плазмы. Методом одновременного электродугового распыления графита в магнитном поле и титана из двух испарителей получены композитные металл-углеродные пленки. С использованием методов спектроскопии комбинационного рассеяния света и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии изучен состав пленок. Установлено, что полученные образцы представляют собой композитные пленки, состоящие из наночастиц графита, нанокластеров TiC или TiC, оксидов титана и соединений карбида титана TiC N.
- Просмотров: 432 | Комментариев : 0
Существующие способы получения катодов с низкими значениями поля не позволяют создавать приборные структуры, удовлетворяющие требованиям разработчиков систем. В работе рассмотрены автоэмиссионные катоды большой площади с однородными эмиссионными свойствами рабочей поверхности и низкими рабочими напряжениями (<1кэВ). Проведено исследование катода Спиндта с количеством кремниевых микроострий до 6000 и плотностью упаковки ~1×10 см. Электродуговым методом на микроострия осаждались пленки из нитрида титана и углерода. Показано, что катод имеет невысокую однородность эмиссии из-за проблемы воспроизведения микроострий только одинаковой формы и размеров. Создан катод на основе микроканальной пластины с каналами диаметром 6 мкм, внутри которых электродуговым способом сформированы графитоподобные наноструктуры. Установлено, что в результате усиления электронного потока в каналах микроканальной пластины можно значительно снизить рабочее напряжение (< 1кэВ) и получить высокую однородность эмиссии при предельно допустимом значении выходного тока.
- Просмотров: 2284 | Комментариев : 0