Национальный исследовательский университет «МИЭТ», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1; АО «Ангстрем», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 2, стр. 3
кандидат технических наук, доцент Института интегральной электроники Национального исследовательского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1); начальник лаборатории осаждения АО «Ангстрем» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 2, стр. 3)
Dr., руководитель группы, физический факультет, Институт Вальтера Шоттки Мюнхенского технического университета (Am Coulombwall 4, 85748 Гархинг, Германия)
Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
кандидат физико-математических наук, доцент Института физики и прикладной математики, старший научный сотрудник Научно-исследовательской лаборатории электронной микроскопии Национального исследовательского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)