доктор технических наук, профессор кафедры системной среды качества Национального исследовательского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1)
Абразивная резка применяется при изготовлении полупроводниковых и диэлектрических подложек в твердотельной электронике. При технологической подготовке изготовления подложек возникает проблема выбора наиболее экономичес-ки обоснованного метода резки. По мере увеличения диаметра разрезаемого слитка проблема возрастает. Разработана автоматизированная система выбора оптимального технологического процесса алмазно-абразивной резки полупроводниковых и диэлектричес-ких слитков на пластины. Описан алгоритм выбора оптимального техпроцесса резки слитков полупроводниковых и диэлектрических материалов на пластины. В соответствии с разработанным алгоритмом созданы базы данных и программное обеспечение. Программа позволяет выбрать способ резки, тип инструмента и марку абразива для материала с конкретными физико-механическими параметрами.