Персоналии

При выращивании кристаллов кремния существенное влияние на качество кристаллов оказывает стабильность параметров работы установки, включая уровень вибраций. Наибольшую амплитуду имеют торсионные вибрации, возникающие в результате пульсаций вращающего момента. Предложен метод повышения качества кристаллов кремния с помощью применения в установках для выращивания кристаллов асинхронных двигателей с совмещенными обмотками и так называемого магнитного клина для снижения негативного влияния торсионных вибраций на процесс формирования кристаллов. Применение предложенных решений позволило снизить уровень торсионных вибраций на 56 % по сравнению со стандартным двигателем привода установки. Проведено компьютерное моделирование работы асинхронного двигателя методом конечных элементов. Теоретические результаты подтверждены испытаниями опытных образцов асинхронных двигателей с совмещенными обмотками.

• Просмотров: 2472 | Комментариев : 0