При выращивании кристаллов кремния существенное влияние на качество кристаллов оказывает стабильность параметров работы установки, включая уровень вибраций. Наибольшую амплитуду имеют торсионные вибрации, возникающие в результате пульсаций вращающего момента. Предложен метод повышения качества кристаллов кремния с помощью применения в установках для выращивания кристаллов асинхронных двигателей с совмещенными обмотками и так называемого магнитного клина для снижения негативного влияния торсионных вибраций на процесс формирования кристаллов. Применение предложенных решений позволило снизить уровень торсионных вибраций на 56 % по сравнению со стандартным двигателем привода установки. Проведено компьютерное моделирование работы асинхронного двигателя методом конечных элементов. Теоретические результаты подтверждены испытаниями опытных образцов асинхронных двигателей с совмещенными обмотками.
Дуюнов Евгений Дмитриевич
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия; ООО «АС и ПП», г. Москва, Россия
1. Критская Т.В., Скачков В.А. Влияние технологических факторов процесса выращивания по методу Чохральского на получение однородных монокристаллов кремния // Изв. вузов. Материалы электронной техники. – 2009. – №3. – С.17–20.
2. Дуюнов Д.А., Дуюнов Е.Д., Агриков Ю.М. Обмотка асинхронного двигателя // Патент России № 111723. 2011. Бюл. № 35.
3. Малошумный энергоэффективный электропривод / Ю.М. Агриков, Д.А. Дуюнов, Е.Д. Дуюнов и др. // Патент России № 2568672. 2015. Бюл. № 32.
4. Малошумный асинхронный двигатель / Ю.М. Агриков, Д.А. Дуюнов, В.Л. Блинов и др. // Патент России № 1507824. 2015. Бюл. № 6.
5. Дуюнов Д.А. Асинхронный двигатель с совмещенными обмотками // Энергосовет. – 2013. – № 2 (27). – С. 19–24.
6. Cistelecan M.V., Ferreira F.J.T.E., Popescu M. Adjustable flux three-phase AC machines with combined multiple-step star-delta connec-tions // IEEE Trans. on Energy Conversion. – 2010. – Vol. 25. – No. 2. – P. 348–355.
7. Kasten H., Hofmann W. Electrical machines with higher efficiency through combined star-delta windings // Electric Machines & Drives Conference (IEMDC). – 2011. – P. 1374–1379.
8. Сильвестр П., Феррари Р. Метод конечных элементов для радиоинженеров и инженеров-электриков: пер. с англ. – М.: Мир, 1986. – 229 с.
9. Ковалев О.Ф. Расчет магнитных полей комбинированным методом конечных элементов и вторичных источников // Изв. вузов. Электромеханика. – 2000. – № 4. – С. 14–16.
10. Кононенко А.В. Особенности расчета магнитного поля в асинхронных двигателях обращенной конструкции // Новые технологии в научных исследованиях, проектировании, управлении, производстве НТ – 2005: тез. Всерос. конференции. – Воронеж: ВГТУ, 2005. – С. 17–18.