Персоналии
Статьи автора
Продемонстрирована возможность роста углеродных нанотрубок методом химического осаждения из ацетилена при температуре процесса 400-800 °С на поверхности металлической пленки аморфного сплава Ni-Ta-N c низким содержанием никеля (~25 ат.%). Показано, что добавление азота в состав сплава Ni-Ta способствует образованию нитрида тантала и выдавливанию на поверхность кластеров никеля, выступающих в роли катализатора при росте углеродных нанотрубок. В результате исследования с помощью спектроскопии комбинационного рассеяния получено, что при повышении температуры процесса синтеза качество нанотрубок улучшается.
- Просмотров: 1413 | Комментариев : 0
Один из способов получения совершенных нитридных структур для микроэлектроники - использование метода атомно-слоевой эпитаксии. В работе рассмотрено влияние технологических параметров процесса атомно-слоевой эпитаксии на динамику роста и равномерность распределения осажденного слоя нитрида галлия (GaN). Эксперименты проведены в реакторе оригинальной конструкции с горизонтальной подачей газа к поверхности подложек при изменении температуры роста в диапазоне 450-540 °C, давления от 4·10 Па (400 мбар) до 5·10 Па (50 мбар) и варьировании расхода триметилгаллия от 3 до 120 мл/мин. Толщина слоев определена на спектральном эллипсометре. Полученные образцы исследованы методом атомно-силовой микроскопии. Разработанные режимы обеспечивают получение равномерных по толщине зародышевых слоев GaN на сапфировых подложках.
- Просмотров: 891 | Комментариев : 0
Показано, что используя технологию геттерирования расплава алюминием, можно уменьшить концентрацию кислорода, снижающего КПД фотоэлектрических преобразователей. Содержание оптически активного кислорода снизилось до 5∙10 см в начале монокристалла и до 1∙10 см- в конце с одновременным увеличением равномерности его распределения по длине и сечению слитка. Время жизни неосновных носителей заряда увеличилось более чем в 3 раза. Эффект первичной солнечной деградации показал уменьшение КПД солнечного элемента менее чем на 2%.
- Просмотров: 1270 | Комментариев : 0