Известия высших учебных заведений. Электроника home

Персоналии

кандидат технических наук, директор Научно-технологического центра фотошаблонов Национального исследовательского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)

Статьи автора

Свернуть

Задать фильтры

Исследование процессов формирования и стабильности фазосдвигающих слоев на основе Mo-Si и Ta-Si для фотошаблонов под воздействием глубокого ультрафиолетового излучения с длиной волны 248 нм

Просмотров: 1440 | Комментариев : 0

Характеризация наноразмерных слоев гетерокомпозиций с применением цифровой обработки данных просвечивающей электронной микроскопии

Просмотров: 952 | Комментариев : 0

Управление составом тонких пленок Mo-Si-N-O при реактивном магнетронном распылении

Просмотров: 119 | Комментариев : 0

Моделирование дифракционных эффектов при использовании фазосдвигающих слоев в фотолитографии

Просмотров: 215 | Комментариев : 0

свежий выпуск

Электроника

Том. 31 №1

График выхода журнала

№ 1

Выход в свет: февраль

№ 2

Выход в свет: апрель

№ 3

Выход в свет: июнь

№ 4

Выход в свет: август

№ 5

Выход в свет: октябрь

№ 6

Выход в свет: декабрь

Как подать статью в журнал

Новости

11.03.2026 Вышел в свет том 31, № 1, 2026 г.

Уважаемые читатели!
Сообщаем, что научно-технический журнал «Известия высших учебных заведений. Электроника» том 31, № 1, 2026 г. вышел в свет 16.02.2026 г.

25.02.2026 Вниманию авторов

С 2027 года, согласно полученному Уведомлению, Pleiades Publishing прекращает сотрудничество с нашим журналом.
Статьи, опубликованные в журнале «Известия вузов. Электроника», больше не будут включаться в дополнительные номера журналов Semiconductors № 13 и Russian Microelectronics № 7.

26.12.2025 Вышел в свет том 30, № 6, 2025 г.

Уважаемые читатели!
Сообщаем, что научно-технический журнал «Известия высших учебных заведений. Электроника» том 30, № 6, 2025 г. вышел в свет 09.12.2025 г.

Все события и новости