кандидат технических наук, доцент, научный сотрудник ФГУП «НИИ Физических проблем им. Ф.В.Лукина» (г. Москва). Область научных интересов: материалы и процессы формирования наноструктур.
Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Россия, 115487, г. Москва, ул. Нагатинская, 16А, стр. 11)
кандидат технических наук, старший научный сотрудник отдела микро- и наноэлектроники и биосенсорики Института нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Россия, 115487, г. Москва, ул. Нагатинская, 16А, стр. 11)
Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, Россия, 119991, г. Москва, Ленинский пр-т, 32А
младший научный сотрудник отдела структурного анализа и метрологии Института нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Россия, 119991, г. Москва, Ленинский пр-т, 32А)